業(yè)界三種最著名的晶圓凸起方法—網(wǎng)板印刷、蒸發(fā)及濺射或電鍍,各有其優(yōu)缺點(表一)。選擇何種方法,除了需要考慮公司的工藝標牌路線圖,更重要的是需要考慮眾多的參數(shù),包括凸起間距、凸起高度、晶圓基底材料、晶圓厚度、晶圓尺寸、凸起一致性,以及凸起材料。
設備和材料 晶圓凸起印刷方法的設計,與標準表面安裝裝配生產(chǎn)線的工具兼容,所以在升級或改造現(xiàn)有的大型設備時無需額外的投資。
然而,網(wǎng)板印刷機應配備精密的光學裝置。對位系統(tǒng)應當能夠識別所處理晶圓上的非標準參考點,包括焊墊邊角、特殊標志、標記,或其它與背景覆蓋物對比鮮明的金屬化特征。
在印刷過程中,為了確保安全地處理精密的晶圓,需要使用剛性托盤來支持晶圓。
晶圓凸起通常使用水溶性焊膏。凸起必須清潔,易于隨后的倒裝芯片裝配過程中進行助熔處理,以達到穩(wěn)定的潤濕和一致的粘結(jié);另外,最大限度地減少在凸起上或凸起之間積聚的任何殘余物,可使裝配后倒裝芯片底部充膠工藝更為可靠。至今,市場上尚無能夠?qū)崿F(xiàn)無殘余物焊點的商業(yè)用非清潔型焊膏材料。